Vörulýsing
Volframbátar eru ákjósanlegir fyrir uppgufunarferli vegna þess að wolfram hefur mjög hátt bræðslumark (yfir 3400 gráður), sem gerir það kleift að standast háan hita sem þarf til að gufa upp mörg efni. Að auki er wolfram tiltölulega óvirkt, sem þýðir að það bregst ekki við flestum efnum sem eru gufuð upp, sem tryggir hreinleika í þunnfilmuútfellingu.
Wolframbátur er algengt tæki sem notað er í þunnfilmuútfellingarferlum, sérstaklega í líkamlegri gufuútfellingu (PVD) tækni eins og hitauppgufun. Það er í meginatriðum bátslaga ílát úr wolfram, málmi sem er þekktur fyrir hátt bræðslumark og viðnám gegn hita og tæringu.
Umsókn
Hleðsla: Efnið sem á að gufa upp er sett inni í wolframbátnum. Þetta efni getur verið allt frá málmum til keramik, allt eftir þunnfilmusamsetningu sem óskað er eftir.
Upphitun: Wolframbáturinn er hitaður, venjulega með rafviðnámi eða með því að hleypa miklum straum í gegnum hann. Þetta veldur því að efnið inni hitnar og nær að lokum uppgufunarmarki.
Uppgufun: Þegar efnið nær uppgufunarmarki breytist það í gufu sem stígur upp úr bátnum. Gufan þéttist síðan á undirlag sem er sett fyrir ofan bátinn og myndar þunnt filmu.
Stærð Tungsten báts
|
Tákn fyrir vörur |
Stærð (mm) |
Lengd trog (mm) |
Lagdýpt (mm) |
|
210 |
0.2*10*100 |
50 |
2 |
|
215 |
0.2*15*100 |
50 |
7 |
|
216 |
0.2*25*118 |
80 |
10 |
|
308 |
0.3*8*100 |
50 |
2 |
|
310 |
0.3*10*100 |
50 |
2 |
|
310 |
0.3*10*70 |
40 |
1.8 |
|
312 |
0.3*12*100 |
50 |
2 |
|
313 |
0.3*13*49 |
33 |
3.3 |
|
315 |
0.3*15*100 |
50 |
7 |
|
316 |
0.3*16*100 |
50 |
4 |
|
318 |
0.3*18*100 |
40 |
3.5 |
|
514 |
0.5*14*100 |
50 |
2.6 |
|
515 |
0.5*15*100 |
50 |
2.6 |
maq per Qat: hár hreinleiki wolfram bátur fyrir uppgufun, Kína hár hreinleiki wolfram bátur fyrir uppgufun birgja, verksmiðju


