Hægt er að skipta sputterandi skotmörkum í slétt skotmörk og snúningsmark í samræmi við lögun þeirra. Planar skotmörk eru löng skotmörk, ferhyrnd skotmörk eða kringlótt skotmörk með ákveðinni þykkt o.s.frv., sem eru unnin með því að binda eyðublað og bakplötu. Við sputtering eru markeyðuefnið og undirlagið samsíða hvort öðru og rafsegulsvið myndast á milli markeyðisins og undirlagsins. Snúningsmarkmið eru pípulaga skotmörk og rafsegulsvið myndast í átt að undirlaginu við sputtering. Planar markmið eru fjölhæfari, en hafa lægra nýtingarhlutfall; snúningsmarkmið hafa hærra nýtingarhlutfall, en lélega einsleitni húðunar.
Kostir snúnings skotmarka
1. Snúningsmarkmið hafa meiri efnisnýtingu
Snúningsmarkmið geta jafnt eytt markyfirborðinu meðan á snúningi stendur og þar með bætt efnisnýtingu marksins, sem getur venjulega náð 70%-90%. Hins vegar, þar sem aðeins ein föst hlið plana marksins tekur þátt í sputtering, myndast "gróp" eða "pits" við notkun, sem leiðir til ójafnrar efnisnotkunar og efnisnýtingarhlutfallið er almennt 30%-40%. Fyrir dýr skotmörk (eins og góðmálma eða sjaldgæf jarðefni) geta snúningsmarkmið dregið verulega úr kostnaði og bætt efnahagslegan ávinning.
2. Snúningsmarkmið hafa betri sputtering einsleitni
Snúningsmörk snúast stöðugt meðan á notkun stendur, þannig að hver staða á yfirborði skotmarksins er jafnt útsett fyrir plasma, sem myndar jafnari sputtering hraða. Þetta hefur augljósa kosti fyrir forrit með miklar kröfur um einsleitni kvikmynda (eins og skjái og hálfleiðaraferli). Slétt skotmörk eru viðkvæm fyrir ójafnri filmuþykkt vegna staðbundinnar of-spúttunar, sérstaklega í undirlagi á stóru-svæði eða stöðugri framleiðslu.
3. Snúningsmarkmið hafa lengri endingartíma
Þar sem snúningsmarkmið neyta einsleitara efnis er endingartími þeirra venjulega lengri en sléttra skotmarka. Þetta þýðir að við sömu vinnuskilyrði er skiptingartíðni snúningsmarkmiðsins lægri, sem dregur úr niður í miðbæ búnaðar og bætir framleiðslu skilvirkni. Fyrir sum samfelld framleiðsluferla, eins og húðun á stóru-svæði og rúllu-til-rúlluhúðunar, getur snúningsmarkmiðið lengt framleiðsluferlið verulega og dregið úr viðhaldskostnaði.
4. Snúningsmarkmið hafa meiri kvikmyndagæði
Kvikmyndalagið sem snúningsmarkið sprottnar er þéttara og einsleitara, sem hentar fyrir sum forrit með mjög miklar kröfur um kvikmyndagæði (eins og hágæða rafeindatæki og hálfleiðaraframleiðslu). Þetta er vegna þess að snúningsmarkið getur í raun dregið úr göllunum sem stafa af ójafnri sputtering á markyfirborðinu og bætt gæði og samkvæmni filmulagsins.
Niðurstaða
Í samanburði við slétt skotmörk hafa snúningsmarkmið meiri efnisnýtingu, lengri endingartíma, jafnari úðunaráhrif og aðlögunarhæfni að stóru-svæði og miklu-magni framleiðslu. Þetta gerir snúningsmarkmið að mikilvægu vali á sviði nútíma þunnfilmuútfellingar, sérstaklega í húðun á stórum -svæða, samfelldri framleiðslu og hágæða rafeindatækjaframleiðslu.