ITO-markmiðafkastabreytur
1. Hreinleiki: ITO markmið iðnaðarstaðalinn kallar á hreinleika frá 99,99% (4N) til 99,999% (5N) einkunn. Þegar hreinleikinn er meiri gefur það minni fjölda mengunarefna, sem þýðir færri ófullkomleika fyrir kvikmyndir sem eru búnar til úr skotmarkinu.
2. Kristallsbygging: ITO-markmiðin eru venjulega í samræmi við kúbikkristalbyggingu með grindarbreytu u.þ.b. 10,118 Å. Gæði kristalbyggingarinnar hafa áhrif á gæði kvikmyndanna sem framleiddar eru.
3. Varmaleiðni: ITO markmiðin hafa hitaleiðni sem er um það bil 20 til 30 W/(m·K). Betri hitaleiðni hjálpar til við að leiða og dreifa hita fljótt, sem dregur úr tapi á markefni við sputtering.
4. Rafleiðni: ITO hefur háa rafleiðni 10^3 - 10^4 S/cm, sem er hagkvæmt til að framleiða gagnsæ leiðandi filmur.
5. Segulmagn: Hár-ITO skotmörk hafa veikari segulmagn. Þetta er hagkvæmt fyrir stöðugleika ITO-markmiðanna við sputtering. ITO-markmiðið er gert til að hafa stýrða meðalagnastærð 1-5μm. Þetta tryggir einsleitni fyrir sputtering skrefið. Þéttleikinn er almennt nálægt 95% eða hærri af fræðilegum þéttleika. Þetta er mikilvægt til að auka sputtering skilvirkni og í kjölfarið gæði filmunnar.
Aðferðir til að gera ITO markmið
1. Aðferð við málmvinnsluduft
Blöndun: Í fyrsta lagi, þegar um indíumoxíð (In2O3) er að ræða, er lítið hlutfall af tinoxíði (SnO2) fellt inn, sem er seinni hluti. Slík blanda af dufti, þegar um ITO-markmiðið er að ræða, leiðir til rafeiginleika þess.
Kúlumylla: Kúlumyllan er notuð til að vinna blönduna þannig að hún sé einsleit hvað varðar bæði einsleitni og hvarfvirkni. Að taka tillit til vinnsluaðferðar og tíma í þessu tilfelli er mikilvægt vegna þess að það er mikilvægt að duftformi og stærð.
Pressun: Unna duftið er kúlupressað til að auka einsleitan þéttleika, sem hjálpar enn frekar við lögun. Þéttleiki og einsleitni samþjöppunnar hafa bein áhrif á niðurstöður hertuferlisins sem fylgir.
Sintering: Þjöppunarhlutinn er hitaður að sintunarhitastigi, sem leiðir til sintunaráhrifa sem gera kleift að smíða „þéttar“ blokkir úr magninu af indíum tinoxíði (ITO).
2. Sól-hlauptækni
Sólmyndun: Hentug indíum- og tinsölt eru valin sem hráefni og efnafræðilega hvarfast til að mynda sól í leysi. Að stjórna hvarfskilyrðunum getur framleitt mjög einsleitt sól. Öldrun: Sólin sem myndast er öldruð til að bæta stöðugleika þess og koma í veg fyrir ójafna úrkomu við síðari hitameðferð.
Leyfileg umbreytingarstýring: Með því að einbeita sér meira að gagnlegri miðun, ITO sem inniheldur dufthluti felur í sér umbreytingu og umbreytingu efnasambandsins í gagnlega frumhlutahluta, meira í þessu tilfelli.
Sintering: Duftið er þakið kolvetni og því sameinað í ITO og þannig gera eiginleikar og eiginleikar sintunaráhrif.
3. Kalt pressun og sintunarferli
Kaldpressun: Til að mynda blokk af ITO dufti er það sett í mót og þjappað við stofuhita með vélrænni pressun. Þessi aðferð felur ekki í sér beitingu hita; þannig, hugtakið kaldpressun.
Fjarlæging bindiefnis: Ef bindiefni er blandað inn við kaldpressun þarf að fjarlægja það fyrir sintunarstigið, venjulega með hitameðhöndlunarferlum.
Sintring: ITO þjappað kaldpressað er hlaðið í sintunarofn og er hertað við hærra hitastig. Kaldpressuð ITO líköm gerir þessum efnum kleift að eyða minni tíma við hærra hitastig, þannig að það dregur úr kornvexti og hjálpar til við að stjórna örbyggingu efnisins.
4. Vacuum Hot Pressing
Tómapressun: ITO duft er heitt-pressað í lofttæmu umhverfi. Tómarúm umhverfið kemur í veg fyrir oxun á áhrifaríkan hátt og dregur úr innleiðingu óhreininda.
Samtímis hitameðferð: Ólíkt hefðbundinni pressumótun sameinar lofttæmi heitpressun pressun og hitameðferð í eitt ferli. Duftið er hert samtímis undir þrýstingi og hitastigi, sem leiðir til marks með meiri þéttleika og betri frammistöðu. Kæling: Eftir heitpressun þarf að kæla ITO-markmiðið hægt undir hitastýringu til að koma í veg fyrir sprungur eða innri streitu í efninu vegna of mikils kælihraða.
Duftmálmvinnsla hentar fyrir stórframleiðslu-og býður upp á tiltölulega lágan kostnað, en getur haft takmarkanir hvað varðar kornastærðarstýringu og einsleitni efnis. Þó að sól-gel aðferðin feli í sér flóknari skref og sé dýrari, framleiðir hún vörur með minni og jafnari kornastærðardreifingu, sem gerir hana hentuga fyrir forrit sem krefjast mjög mikils filmugæða. Bæði kaldpressun og lofttæmandi heitpressunarferli geta náð háum þéttleika og samræmdri örbyggingu þegar ITO markmið eru útbúin, sem skipta sköpum fyrir einsleitni og frammistöðu kvikmyndarinnar.
Tómarúm heitpressun, sérstaklega, nær yfirburða örbyggingarstýringu en viðheldur háum markþéttleika vegna samtímis notkunar við háan þrýsting og hitastig.
Umsóknarráðleggingar fyrir ITO-markmið
1. Snertiskjár og skjáir:
- Gegnsætt leiðandi filmur (TCF) eru notaðar fyrir LCD skjái, snertiskjái og OLED skjái. Það er best að nota fínar- ITO-markmið fyrir TCF, til að ná framúrskarandi gagnsæi og leiðnieiginleikum.
- Hægt er að bæta viðloðun og einsleitni filmu með því að stjórna hitastigi undirlagsins og sputterkrafti.
2. Ljósvökvaeiningar:
- Með ITO-markmiðum geta þunnfilmur úr sólarorku og aðrar þunnfilmufrumur úr sólarorku haft betri ljósumbreytingarskilvirkni.
- Ljósvökvaefni sem eru næm fyrir háum hita ættu að vera unnin með því að nota lág-hitaúðunaraðferðir.
3. Optolectronic Devices: - Straumdreifingar- eða endurspeglunarlög í leysidíóðum og LED eru úr ITO þunnum filmum.
- Fyrir ITO-markmið með betri leiðni en sendingu, framkvæma sputtering með háum ljósfilmugæðum til að draga úr tapi við útfellingu.
4. Skynjarar: - Við smíði viðkvæmra laga eða rafskauta gasskynjara og lífskynjara, finna ITO þunnar filmur notkun.
- Til að ná hámarksnákvæmni lífskynjarans verða þunnfilmu rafskautin að vera úr há-hreinleikaefnum og viðkvæmu lögin ættu að vera aðlöguð að umhverfinu í kring.
5. Notkun ITO þunnfilma: Antistatic ITO Thin Films Border Interface: - Þökk sé leiðni ITO þunnfilma er hægt að nota þær til að koma í veg fyrir truflanir gegn truflunum og rafsegultruflunum í rafeindatækjum, sem og tækjum með ITO.
- Gæta þarf þess að jafnvægi sé milli leiðni og gagnsæis efnanna og velja þarf rétta markefnið til að uppfylla kröfur tiltekins umhverfis.
Mismunandi ITO markefni ættu að vera sniðin að tilteknum aðstæðum byggt á notkun þeirra. Þar að auki væri hægt að auka ITO þunnfilmu eiginleikana með því að fylgjast með markmiðsaðstæðum, svo sem hitastigi, útfellingarhraða og markneysluhraða meðan á sputtering ferlinu stendur.
Geymsla og umhirða ITO Target
1. Varnarráðstafanir við geymslu:
- ITO-markmið krefjast þurra, hreinna og hitastigs-stöðugrar geymslu til að koma í veg fyrir breytingar á eðlisformi þeirra og efnasamsetningu af völdum hita- og rakabreytinga.
- Til að forðast mengun verða ITO skotmörk einnig að vera laus við ætandi vökva og lofttegundir. Þannig myndu lokaðir pakkar henta til geymslu.
2. Vörn gegn mengunarefnum og ryki:
- Á öllu geymslu- og meðhöndlunartímabilinu verður skotmarkið að vera laust við ryk og hvers kyns mengun til að hafa áhrif á sputteringsvirkni þess. Ryk-lausir klútar og sérstakar hlífðarfilmur myndu henta til að hylja skotmörkin.
3. Vöktun hitastigs:
- Jafnvel þó að ITO-markmiðin séu einstaklega stöðug, getur virkni þeirra verið skert vegna mjög hás eða mjög lágs hitastigs. Ákjósanlegur hiti í geymslu er venjulega 15-25 gráður á Celsíus.
4. Rakastýring:
- Hlutfallslegur raki (RH) á geymslusvæðinu verður að vera stjórnað innan 40% – 60% RH. Hægt er að stjórna rakastigi með því að nota þurrkefni sem og rakastjórnunartæki.
5. Viðhald og þrif: - Gerðu mat á stöðugri heilleika skotmarksins. Ekki nota skotmarkið ef það eru sprungur eða einhvers konar skemmdir. - Til að þrífa skotmarkið skaltu nota há-alkóhól eða afjónað vatn. Ekki nota hvers kyns lífræn leysiefni eða sterk súr eða sterk basísk hreinsiefni.
6. Undirbúningur fyrir notkun: - Áður en skotmarkið er sett í sputterbúnaðinn skaltu ganga úr skugga um að það sé hreint til að koma í veg fyrir mengun með því að þrífa það í hreinu herbergi.
- Áður en sputtering er sprautað skaltu framkvæma for-spúttunartímabil til að tryggja að öll lítil óhreinindi sem gætu verið á markyfirborðinu séu fjarlægð.
7. Viðhaldsskrár: - Mælt er með því að viðhalda marknotkunar- og viðhaldsskrá, þar sem fram kemur hverja notkun og geymsluaðstæður, til að fylgjast með frammistöðubreytingum og gera tímanlega breytingar.
Með því að fylgja þessum ráðleggingum um geymslu og viðhald geturðu á áhrifaríkan hátt lengt líftíma ITO-markmiðsins þíns, tryggt stöðugt sputteringsferli og framleitt hágæða þunnt filmur.